温排水からの熱を回収することでヒートポンプを活用。排熱回収により生成した温水は半導体の洗浄に利用する純水（半導体基板洗浄水）の加熱に利用し、加熱源をボイラーからヒートポンプに変えることでエネルギーの効率化を実現。